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Étude par microscopie à force atomique Jerome Thiault Taschenbuch Paperback 2010 - Bild 1 von 1

Étude par microscopie à force atomique von Jerome Thiault (2010, Taschenbuch)

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Über dieses Produkt

Produktinformation

Ce travail de thèse s'inscrit dans le contexte de miniaturisation des transistors MOS afin de mener la technologie CMOS à ces dimensions ultimes. Avec les techniques actuelles de fabrication et pour des longueurs de grille de transistor inférieures à 30nm, les variations moyennes de la longueur de grille, appelées rugosité de bord, entraînent des fluctuations électriques dans le transistor inacceptables pour le bon fonctionnement des futures générations de dispositifs. Il convient donc de contrôler ce paramètre afin de le réduire. Pour réussir ce défi technologique, il est essentiel de le mesurer avec précision afin, par la suite, de comprendre ses origines et son évolution après chaque étape technologique de fabrication. Dans ce travail de thèse, nous nous sommes intéressés à la mesure la rugosité de bord, à l'aide d'un nouvel équipement de métrologie: le microscope à force atomique en trois dimensions. Nous avons évalué les capacités de cet outil et déterminé un protocole de mesure de la rugosité de bord, qui nous a permis ensuite d'étudier ses origines et d'étudier son évolution lors des différentes étapes technologiques de fabrication d'une grille de transistors MOS.

Produktkennzeichnungen

ISBN-10
6131531706
ISBN-13
9786131531705
eBay Product ID (ePID)
161857181

Produkt Hauptmerkmale

Produktart
Lehrbuch
Sprache
Französisch
Anzahl der Seiten
176 Seiten
Verlag
Editions Universitaires Europeennes Eue
Publikationsname
Étude Par Microscopie À Force Atomique
Autor
Jerome Thiault
Format
Taschenbuch
Erscheinungsjahr
2010

Zusätzliche Produkteigenschaften

Hörbuch
No
Inhaltsbeschreibung
Paperback
Item Length
22cm
Item Height
1cm
Item Width
15cm
Item Weight
278g

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